【色母粒产业网】5月18日消息，4月末，复旦大学迎来了一场备受瞩目的盛会——二十余位来自学术界和产业界的专家学者齐聚一堂，共同见证“复旦大学先进光刻胶材料教育部工程研究中心”的揭牌成立。这一中心的诞生，是复旦大学积极响应国家重大战略需求、大力推动产学研深度融合的关键一步，其核心目标是攻克高端光刻胶材料领域的关键技术瓶颈，推动我国集成电路产业在全球价值链中迈向更高位置。
仪式现场，复旦大学副校长姜育刚出席并发表致辞，复旦大学微电子学院院长张卫担任主持工作。姜育刚副校长着重指出，光刻胶作为芯片制造过程中的核心材料，其技术发展水平直接关系到集成电路制造工艺的精度以及整个产业的竞争力。据色母粒产业网了解，复旦大学此次整合了集成电路、化学、高分子、材料等多学科的优势资源，成立该研究中心，正是学校践行“教育强国打头阵，自主创新当尖兵”使命的重要体现。他期望中心能够聚焦光刻胶材料从实验室到生产线的工程化难题，加快国产高端光刻胶实现自主可控的步伐，为国内芯片制造企业提供坚实的技术与材料支撑。
在产学研协同创新方面，此次成立仪式也有诸多亮点。复旦大学研究生院副院长梅永丰宣读了第一届技术委员会名单，人事处处长熊易寒为委员们颁发了聘书。其中，上海华力集成电路制造有限公司的周文湛担任委员会主任，苏州润邦半导体的马晓明博士、浙江新盈电子的方书农博士担任副主任，还有十余位行业领军专家担任委员。随后，姜育刚副校长与科研院基地建设与成果管理处处长张峰、微电子学院党委书记罗凌、微电子学院院长张卫、中心主任伍强、技术委员会主任周文湛共同为研究中心揭牌，标志着这一重要平台正式投入运行。
揭牌仪式结束后，专题发言环节精彩纷呈，由中心主任伍强教授主持。来自上海华力、苏州润邦、腾讯量子实验室、张江实验室等单位的十位专家，围绕光刻胶材料研发、计算光刻技术、产业链协同等关键主题展开了深入探讨。技术委员会主任、上海华力集成电路制造有限公司的周文湛先生强调，光刻胶国产化需要学术界与产业界紧密合作，采用模块化研发与优化思路，结合计算光刻、量子化学、人工智能(AI)等技术手段，推动先进节点光刻技术升级。腾讯量子实验室研究员马星宇分享了AI在计算光刻与光刻胶建模中的应用前景;浙江新盈电子董事长方书农博士、苏州润邦半导体董事长马晓明博士分别阐述了国产光刻胶树脂材料对产业链自主可控的重要意义;徐州博康首席科学家冉瑞成博士提出建立材料配方的系统性模型与数据库，完善知识产权的科学管理机制，以促进上下游企业高效合作;光掩模制造公司代表分析了光掩模与光刻胶材料的发展趋势;张江实验室朱慧娥研究员剖析了国外光刻胶产业的发展历程以及国内研发面临的挑战;上海集成电路制造创新中心阎江博士解读了基于物理模型的光学邻近效应修正(OPC)匹配光刻胶技术路线。
最后，工程中心主任伍强教授在总结中提出了“设计 - 基础设施协同优化(DICO)”技术总路线，并分享了关键研究案例。他表示，中心将秉持“开放协同”的理念，联合产学研各方力量推动技术转化，为我国集成电路产业高质量发展注入新的活力。与会专家们还提议加强光刻材料、工艺等相关专业的人才培养，并就后续合作展开了热烈讨论。
